Турбомолекулярные насосы | |
Скорость откачки, л/c | 300 |
Входной фланец | 100 CF или 100 ISO-K |
Степень сжатия по азоту | >10^8 |
Степень сжатия по водороду | >1x10^3 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 33000 |
Уровень вибраций, мкм | <0.1 |
Предельное остаточное давление, Па | <3x10^-7 |
Выходной фланец | 25 KF |
Вес, кг | 10.8 |
Время старта, мин | <4 |
Рабочее положение | Любое |