Турбомолекулярный вакуумный насос MTP-2201СТ с магнитным подвесом, IS0250F
- по запросу
- Производитель: CBVAC
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Монтажное положение | Произвольное |
| Быстрота действия (л/с), N2 | 2200 |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 1900 |
| Быстрота действия (л/с), H2 | 1700 |
| Впускной фланец | IS0250F |
| Степень сжатия, N2 | > 10⁸ |
| Степень сжатия, H2 | >1х10⁴ |
| Частота вращения (об./мин) | 27000 |
| Частота вращения в режиме ожидания (об./мин) | прибл. 5000 |
| Расход продувочного азота (ст. куб. см/мин) | 50 ± 10 |
| Температура обезгаживания впускного фланца (°C) | <120 |
| Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса (л/мин) | >1300 |
| Система регулирования температуры (TMS) | Поддерживается |
| Время разгона | <8 мин. |
| Время замедления | <11 мин. |
| Степень защиты | IP54 |
| Температура хранения, ºС | -25…+75 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 10⁻⁷ |
| Уровень шума, Дб | <55 (27 000 об./мин) |
| Масса, кг | 62 |
| Температура эксплуатации (⁰С) | 0…+40 |
Описание
Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом,
представленные в серии MTP, имеют встроенный контроллер, отличаются высокой
быстротой действия, стабильностью работы, коррозионной стойкостью и простотой
монтажа. Эти изделия широко применяются при производстве полупроводниковых
приборов, например для напыления тонкопленочных покрытий, травления и ионной
имплантации.
Инструкции и документы
 |
MTP 1.pdf Размер: 2.13MB |
