logo

Вакуумметр – манометр, необходимый для измерения давления разреженных газов. Область его применения широка - от сфер промышленности до использования в лабораториях, строительстве, транспортной области и научных исследованиях.

За десятилетия совершенствований и разработок было создано огромное разнообразие вакуумметров, различных по техническим особенностям.

Из чего состоит вакууметр

    Все вакууметры состоят из двух основных частей:
  • Первая часть необходима для преобразования всех изменений состояния чувствительного элемента в электрический сигнал;
  • Вторая часть служит “оценщиком” поступающего сигнала и показывает информацию, пересчитанную в заданные единицы давления. Простыми словами, это дисплей или экран у современного вакуумметра.

В механических вакуумметрах нет дисплея. Стрелка прибора показывает значения уровня давления.

Классификация вакуумметров в зависимости от типа устройства

    К этой категории относятся:
  • жидкостный;
  • механический: мембранный, деформационный и т.д.;
  • тепловой: термопарный, теплоэлектрический;
  • компрессионный: вакуумметр Мак-Леода;
  • ионизационный;
  • магнитный;
  • вязкостный;
  • электроразрядный;
  • радиометрический.

Вакуумметры, представленные выше, вы можете использовать для измерения полного давления.

Однако, нередко встречаются ситуации, когда требуется измерить другие разновидности газа. Например, в случае с парциальным давлением необходимо работать со специальными измерителями и масс-спектрометрами. В связи с этим мы получаем еще одну классификацию вакуумных манометров.

Классификация вакууметров по принципу действия:

Классический вакууметр

Границы измеряемого давления: 10 (0,075) – 100000 (750) Па. (мм.рт.ст.).

Принцип действия.
Классический вакуумметр - это типичный манометр (жидкостный или анероид), с помощью которого можно измерять малые давления.

Для жидкостного вакуумного манометра характерно применение в измерительном колене масла с заранее известной плотностью. Это гарантирует наличие условий для вакуума.
Как правило, для изоляции от другой части вакуумной системы одновременно с вакуумным манометром используют “азотные ловушки”. Они представляют собой устройства, которые наполняются жидким азотом и служат для вымораживания паров рабочего вещества манометра.

Анероид характеризуется отсутствием жидкостей при измерении давления. Такой вакуумметр состоит из металлической коробки в форме цилиндра с созданным внутри нее разрежением. Снаружи к ней прикреплена пружина (мембрана), которая двигается в зависимости от атмосферного давления. Если оно повышается - коробка сжимается и пружина подтягивается, если понижается - коробка расширяется, а пружина отталкивается.
В результате, движение пружины в системе рычагов двигает стрелку на шкале, где и показывается уровень измеряемого давления.

Ёмкостный вакууметр

Границы измеряемого давления: 1 (0,0075) – 1000 (7,5) Па. (мм.рт.ст.)

Принцип действия.
Ёмкостный вакуумметр призван измерять давление до высокого вакуума, вид газа не имеет значения. Такие манометры используются для определения относительного давления.
Принцип работы строится на реакции ёмкости конденсатора, размер которой меняется в зависимости от изменений расстояния между обкладками. Одна из них - гибкая мембрана, которая и влияет на изменение ёмкости конденсатора при смене давления. Если измерить эту обкладку-мембрану и провести градуировку, то с помощью устройства можно определять давление.

Термопарный вакууметр

Границы измеряемого давления: 10−1 (10−3) – 103 (10) Па. (мм.рт.ст.)

Принцип действия
Ключевым элементом термопарного вакуумметра является термоэлектрический преобразователь, так как в этом механизме важна теплопроводность и охлаждение за счет термопары. Данные вакуумные манометры считаются самыми бюджетными приборами (среди аналогов), с помощью которых можно измерить средний и низкий вакуум.

Вокруг термопары, которая контактирует с нагреваемым проводом, создается давление. Оно напрямую зависит от теплопроводности разреженного газа, так как от температуры в вакууме зависит нагрев термопары. При низкой теплопроводности газа температура проводника увеличивается, и с помощью этого изменения можно определить давление.
Примерами термопарного вакуумметра являются отечественные ПМТ-2 и ПМТ-4.

Терморезисторный вакуумметр

Границы измеряемого давления: 10−1 (10−3) – 1,013 (760) Па. (мм.рт.ст.)

Принцип действия.
Работа терморезисторного вакуумметра основана на мостовой схеме, задача которой - постоянная поддержка сопротивления терморезистора (им может являться платиновая нить - манометр Пирани). Тут существует прямо пропорциональная зависимость между напряжением на датчике и давлением: если давление газа увеличивается, то также нужно увеличить и подводимую к терморезистору мощность, чтобы температура оставалась неизменной.

Как и в термопарном вакуумметре, в датчике Пирани для преобразования тепловой энергии в напряжение применяется нить накала. Однако датчик Пирани является более точным, так как в его механизм впаяна электрическая схема.

Кроме датчика Пирани в качестве примера можно привести отечественные датчики ПМТ - 6-3.

Ионизационный вакуумметр

Границы измеряемого давления: 10−10 (10−12) – 10 (10-1) Па. (мм.рт.ст.)

Принцип действия.
Работа такого вакуумметра основана на ионизации газа. На ионы оказывает влияние магнитное поле и электрический разряд. Под таким воздействием атомы должны набрать скорость, зависящую от степени сжатия вакуума.
Если снизится давление газа, то уменьшится количество частиц, которые могут подвергнуться процессу ионизации. Следовательно, сократится и ионизационный ток, который протекает между атомами при таком напряжении.

С помощью ионизационного вакуумметра можно измерить давление в высоком вакууме. Основными примерами таких манометров являются вакуумный датчик Байярд-Альперт и вакуумный манометр с холодным катодом.

Альфатрон

Границы измеряемого давления: 10−1 (10−3) – 103(10) Па. (мм.рт.ст.)

Принцип действия.
Альфатрон является подвидом ионизационного вакуумметра. Отличие состоит в используемых для ионизации частицах - здесь вместо электронов применяются α-частицы, которые испускает источник радия или плутония (примерно 0,1-1 мКюри).

Преимущества перед вакуумметром с катодом: простота, надежность, точность.
Недостаток: не могут дать точные измерения из-за низкой чувствительности, которая затрудняет определение сверхмалых токов.

Итоги

В настоящее время существует огромное многообразие вакуумметров, каждый из которых отличается как своими преимуществами и техническими характеристиками, так и конструкционными особенностями. При выборе датчиков для усановок стоит учитывать, что современные производители стремятся к улучшению работоспособности приборов путем объединения достоинств разных устройств, поэтому зачастую наблюдается размытость классовых границ. Это влияет на стоимость вакуумметра и на его долговечность.

При покупке вакуумного манометра обращайте внимание на технические характеристики прибора, его чувствительность.

Есть вопросы?
Яндекс.Метрика